特許
J-GLOBAL ID：201103007330244680
光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
好宮 幹夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-094797
公開番号（公開出願番号）：特開2000-044270
特許番号：特許第3706499号
出願日： 1999年04月01日
公開日（公表日）： 2000年02月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 チャンバと、このチャンバ内に配置され、基材の表面に向けてファイバ用原料および反応ガスを吹き付け、反応生成物を堆積して光ファイバ用多孔質ガラス母材を形成するバーナと、前記チャンバ内の気体を排気するための排気管とを具備する光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置において、前記排気管がその開口部の内面下部についたて板を有することを特徴とする光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C03B 37/018 A
, C03B 8/04 Q
