特許

J-GLOBAL ID：201103007368001382

酸化亜鉛電析方法および装置

発明者： 荒尾 浩三 ,  遠山 上 ,  園田 雄一 ,  宮本 祐介
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-339029
公開番号（公開出願番号）：特開2001-152390
特許番号：特許第3445203号
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 水溶液から酸化亜鉛を基板上に電気化学的に析出し、該析出膜を水洗し乾燥せしめる電析方法において、乾燥するに際して、酸化亜鉛に吸着する水分の少なくとも30%を離脱せしめることを特徴とする酸化亜鉛電析方法。

IPC (3件)：

C25D 9/08 ,  C23C 14/08 ,  H01L 31/04

FI (3件)：

C25D 9/08 ,  C23C 14/08 C ,  H01L 31/04 E