特許

J-GLOBAL ID：201103007533753190

洗浄装置

発明者： 牛島 満 ,  橋爪 通弘
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  株式会社エンヤシステム
代理人 (1件)： 井上 一 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-188537
公開番号（公開出願番号）：特開平3-052227
特許番号：特許第2645150号
出願日： 1989年07月20日
公開日（公表日）： 1991年03月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】少なくとも自転駆動させながら被処理体面に接触させ、被処理体面を洗浄する洗浄ブラシを有する洗浄装置において、上記ブラシに連結される自転軸を支持するベアリングの下方に、摺動粉を吸引する吸引部を設けたことを特徴とする洗浄装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 341 ,  B08B 1/04

FI (2件)：

H01L 21/304 341 B ,  B08B 1/04