静圧支承ユニット

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤本昇 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-336950
特許番号：特許第3099012号
出願日： 1999年11月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被支持体側が載置される上部材と、該上部材を移動自在に支持する下部材とを備え、互いに対向する上部材の面と下部材の面との間に、所定圧の流体を供給することにより、上部材と下部材は流体を介して相対移動自在に支持される静圧支承ユニットにおいて、前記上部材及び下部材の一方の面には、他方の面に接触する環状のシール手段が設けられ、該シール手段の内側には、流体が供給可能な流体圧ポケットが設けられ、しかも、前記シール手段として、上部材及び下部材の一方には、環状の流体圧空間が形成され、該流体圧空間内への圧力流体供給時に、一方の面側を前記他方の面に接触するように弾性変形させることを特徴とする静圧支承ユニット。

IPC (2件)：

B23Q 3/15 , F16C 32/06

FI (2件)：

B23Q 3/15 D , F16C 32/06 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭53-076249
特開昭48-067640

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