振動片、振動片の製造方法、振動子および発振器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：上柳雅誉 , 須澤修 , 宮坂一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-096709
公開番号（公開出願番号）：特開2011-228922
出願日： 2010年04月20日
公開日（公表日）： 2011年11月10日
要約：

【課題】下部電極と圧電体層との密着性お呼び圧電体層の配向性を向上させ、なお且つ電気機械結合係数が優れた振動片を提供する。【解決手段】基部と、前記基部から延出する腕部と、前記腕部の主面に配置される圧電素子と、を備え、前記圧電素子は、圧電体層と、前記圧電体層の前記主面側に設けた第1電極層と、前記圧電体層の前記主面の反対側に設けた第2電極層と、を備え、前記第1電極層は、前記主面側に配置される電極層と、前記圧電体層側に配置される窒化層と、が積層され、前記第1電極層の前記窒化層は、前記第1電極層の前記電極層を形成する電極材料の窒化物である振動片。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基部と、前記基部から延出する腕部と、前記腕部の主面に配置される圧電素子と、を備え、前記圧電素子は、圧電体層と、前記圧電体層の前記主面側に設けた第1電極層と、前記圧電体層の前記主面の反対側に設けた第2電極層と、を備え、前記第1電極層は、前記主面側に配置される電極層と、前記圧電体層側に配置される窒化層と、が積層され、前記第1電極層の前記窒化層は、前記第1電極層の前記電極層を形成する電極材料の窒化物である、ことを特徴とする振動片。

IPC (10件)：

H03H 9/19 , H03H 9/215 , H03H 3/02 , H03H 9/02 , H03H 9/10 , H03B 5/32 , H01L 41/18 , H01L 41/22 , H01L 41/24 , H01L 41/083

FI (12件)：

H03H9/19 L , H03H9/215 , H03H3/02 B , H03H9/02 K , H03H9/10 , H03B5/32 H , H01L41/18 101A , H01L41/22 Z , H01L41/18 101Z , H01L41/22 A , H01L41/08 S , H01L41/08 Q

Fターム (18件)：

5J079AA02 , 5J079AA04 , 5J079BA43 , 5J079HA07 , 5J079HA09 , 5J079HA22 , 5J108BB02 , 5J108CC06 , 5J108CC08 , 5J108CC11 , 5J108DD05 , 5J108EE03 , 5J108EE07 , 5J108EE18 , 5J108FF05 , 5J108JJ04 , 5J108KK02 , 5J108MM14

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