特許
J-GLOBAL ID：201103007735178618
発光パネルの製造装置及び発光パネルの製造方法、並びに電子機器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鹿嶋 英實
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-193957
公開番号（公開出願番号）：特開2011-048915
出願日： 2009年08月25日
公開日（公表日）： 2011年03月10日
要約：
【課題】高い製造効率で発光特性に優れた発光パネルを量産化することができる発光パネルの製造装置及びその製造方法を提供する。また、素子寿命や発光特性に優れ、発光輝度のばらつきが抑制された発光パネルを備えた電子機器を提供する。【解決手段】ノズルコート成膜装置100は、基板11表面へのインクの塗布工程においては、基板11表面に塗布用マスク21を密着させた状態で、ノズルヘッド111をX方向に走査させて、塗布用マスク21の各列のスリット21a内にインクを塗布する。次いで、全ての列のスリット21a内に有機溶液14xが塗布、充填された基板11を、減圧した状態で加熱処理して、均一かつ一括して乾燥させて、各画素PIXのEL素子形成領域Relに露出する画素電極12上に有機EL層14を成膜する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板上に第一電極、少なくとも一層からなる発光機能層、第二電極が積層された発光素子を備え、少なくとも特定の列に2つ以上配列されている複数の画素が配列された発光パネルの製造装置において、
前記基板上に設定された前記画素の各形成領域にインクを吐出して塗布するノズルと、
少なくとも前記特定の列の2つ以上の前記画素の形成領域が露出する開口部を有するマスクの密着面を、前記基板上に着脱可能に密着させるマスク密着制御部と、
を備えることを特徴とする発光パネルの製造装置。
IPC (4件)：
H05B 33/10
, H01L 51/50
, H05B 33/12
, H05B 33/22
H05B33/10
, H05B33/14 A
, H05B33/12 B
, H05B33/22 Z
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC33
, 3K107CC45
, 3K107DD89
, 3K107GG06
, 3K107GG24
, 3K107GG33
, 3K107GG36
