特許
J-GLOBAL ID：201103008059891264
光学式プロフィル測定方法と装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
堀田 実
, 奈良 繁
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-119174
公開番号（公開出願番号）：特開2000-310520
特許番号：特許第4300496号
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ビーム投光点Aとビーム受光点Bを基準長Lを隔てて設置し、ビーム投光点Aから被測定面(3)にレーザビーム(5)を走査し、ビーム受光点Bで被測定面側からの散乱光(6)を集光して光位置検出器(20)に導き、その出力から被測定面の形状を測定する光学式プロフィル測定方法において、
前記光位置検出器(20)は、ビーム投光側からビーム受光側に直線状に配列した複数の光電変換器(20a)からなり、
各光電変換器の受光感度は、前記ビーム投光点Aから前記被測定面(3)の照射点に達する前までのビーム光路からの散乱光を受ける側が相対的に低く、前記照射点からの反射光を受ける側が相対的に高くなるように傾斜感度に設定されており、更に、各光電変換器の出力レベルを比較し、その最大出力位置を光位置検出器上の被測定面の照射点Pと判断する、ことを特徴とする光学式プロフィル測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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