特許
J-GLOBAL ID:201103008160991784

複合ガスセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 桑原 英明
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-589939
特許番号:特許第3664980号
出願日: 1999年12月21日
請求項(抜粋):
【請求項1】第1及び第2の酸素イオン伝導性固体電解質基板(3a,3b)により形成される第1のガス測定室(1)と、前記第1のガス測定室(1)に流入する被検ガス量を制限するための拡散抵抗を有する第1のガス導入口(11)と、前記第1のガス測定室(1)内の前記第1の固体電解質基板(3a)表面に固定され、酸素にのみ活性な第1の酸素検知電極(4)と、前記第1の固体電解質基板(3a)の前記第1の酸素検知電極(4)が形成された面と同じ面に固定され、少なくとも被検ガスおよび酸素に活性なガス検知電極(6)と、前記第1の固体電解質基板(3a)の前記第1の酸素電極(4)およびガス検知電極(6)が固定された面の反対側で、前記第1のガス測定室(1)から隔離され大気雰囲気に連通する大気基準ダクト(14)内の面に固定され、酸素に活性な基準電極(7)と、前記第2の固体電解質基板(3b)上の第1のガス測定室内にガス検知電極(6)と対面するように固定され、被検ガスを化学的あるいは電気化学的に変換または分解するための酸素および被検ガスに活性なガス処理電極(9a)と、前記第2の固体電解質基板(3b)上のガス測定室の外側でかつ大気に連通する大気導入ダクト(13)に設置されたガス処理対極(9b)とからなるガス処理ポンプセルと、第1の固体電解質基板(3a)上に被検ガス雰囲気と直接触れるように固定され、酸素のみに活性な第2の酸素検知電極(5)とを具備した構成を特徴とする複合ガスセンサ。
IPC (2件):
G01N 27/416 ,  G01N 27/419
FI (3件):
G01N 27/46 331 ,  G01N 27/46 327 N ,  G01N 27/46 327 P

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