特許

J-GLOBAL ID：201103008295792200

露光装置

発明者： 古市 誠
出願人/特許権者： メッシュ株式会社
代理人 (2件)： 前田 勘次 ,  大矢 正代
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-244057
公開番号（公開出願番号）：特開2011-090172
出願日： 2009年10月23日
公開日（公表日）： 2011年05月06日
要約：

【課題】プリント配線基板等を構築するワークに光を照射し、連続的に露光可能な露光装置を提供することを課題とする。【解決手段】露光装置1は、紫外線透過性の管壁6を有する円筒管形状の露光ジャケット管2と、露光ジャケット管2の内側に設置された光照射部3と、露光ジャケット管2を所定の回転速度で軸回転させる軸回転機構部9と、円柱状のフィルム用ロール10を有し、露光ジャケット管2と同期してフィルム用ロール10を回転させるフィルム変位機構部12と、フィルム用ロール10等に架設された帯環状のマスクフィルム13と、露光対象のワーク4を露光ジャケット管2及びマスクフィルム13に同調して送出するワーク送出機構部15と、光照射部3からワーク4に対して紫外線を照射し、感光剤5を露光させる露光制御部16とを主に具備する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光透過性素材で形成された円筒管形状を呈する露光ジャケット管と、 前記露光ジャケット管の管内空間に設置され、前記管内空間から管外に向かって特定波長の光を照射可能な光照射部と、 前記露光ジャケット管の円筒管軸を回転軸として所定の回転速度で軸回転させる軸回転機構部と、 前記光を透過する透過領域及び非透過領域によって予め規定されたマスクパターンが形成されたマスクフィルムと、 前記露光ジャケット管の管表面に前記マスクフィルムの少なくとも一部を当接させた状態で、前記露光ジャケット管の軸回転に同調するように前記管表面に沿って前記マスクフィルムを変位させるフィルム変位機構部と、 前記マスクフィルムのフィルム表面に、ワーク表面に特定波長の前記光に対して硬化する感光剤の塗布されたワークの少なくとも一部を当接させた状態で、前記露光ジャケット管の軸回転及び前記マスクフィルムの変位に同調するように前記フィルム表面に沿って前記ワークを送出するワーク送出機構部と、 前記露光ジャケット管の軸回転、前記マスクフィルムの変位、及び前記ワークの送出を同調させた状態で、前記露光ジャケット管の前記管内空間に収容された前記光照射部から前記ワークに対して前記光を照射し、前記感光剤を露光させる露光手段と を具備することを特徴とする露光装置。

IPC (1件)：

G03F 7/20

FI (1件)：

G03F7/20 501

Fターム (7件)：

2H097CA12 ,  2H097DA06 ,  2H097DB07 ,  2H097DB12 ,  2H097GA43 ,  2H097JA02 ,  2H097LA09