特許
J-GLOBAL ID：201103008329345615
製膜装置及び製膜方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-165565
公開番号（公開出願番号）：特開2011-021215
出願日： 2009年07月14日
公開日（公表日）： 2011年02月03日
要約：
【課題】真空チャンバー内においてレーザー光をターゲットに照射し、固体酸化物燃料電池の燃料極、電解質膜、空気極又は集電電極を基板上に蒸着し製膜する場合において、レーザー光学系の反射ミラーを移動させる方法よりも簡便な方法により、基板から視たときのターゲット材料を昇華させる位置を移動させることができ、基板面内で均質な膜を製膜することができる製膜装置を提供する。【解決手段】真空チャンバー1と、真空チャンバー1内に設けられ、ターゲット16を載置するターゲット載置台12と、真空チャンバー1内に設けられ、基板18を保持する基板保持部材13とを有する。真空チャンバー1は、真空チャンバー1の側壁に設けられ、レーザー光を真空チャンバー1内に導入するレーザー光導入窓111を有し、真空チャンバー1がターゲット16、基板18と一体的に移動に加え往復運動可能に設けられている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空チャンバーを有し、該真空チャンバー内においてレーザー光をターゲットに照射し、固体酸化物燃料電池の燃料極、電解質膜、空気極又は集電電極を基板上に蒸着し製膜する製膜装置において、
前記真空チャンバー内に設けられ、ターゲットを載置するターゲット載置台と、
前記真空チャンバー内に設けられ、基板を保持する基板保持部材と
を有し、
前記真空チャンバーは、該真空チャンバーの側壁に設けられ、レーザー光を前記真空チャンバー内に導入するレーザー光導入窓を有し、
前記真空チャンバーが前記ターゲット載置台のターゲットと基板が一体的に、移動に加え往復運動可能に設けられていることを特徴とする製膜装置。
IPC (5件)：
C23C 14/28
, H01M 8/00
, H01M 8/12
, H01M 8/02
, H01M 4/88
C23C14/28
, H01M8/00 Z
, H01M8/12
, H01M8/02 E
, H01M4/88 T
4K029AA24
, 4K029CA01
, 4K029DA08
, 4K029DB20
, 4K029EA08
, 4K029JA02
, 5H018AA06
, 5H026AA06
, 5H026BB01
, 5H026BB04
