特許

J-GLOBAL ID：201103008420479624

大型真空装置の制御装置

発明者： 河野 等 ,  世古 和也 ,  落合 光敏 ,  中井 泰弘
出願人/特許権者： 神鋼電機株式会社
代理人 (1件)： 後藤 武夫 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-060767
公開番号（公開出願番号）：特開平2-241992
特許番号：特許第2734068号
出願日： 1989年03月15日
公開日（公表日）： 1990年09月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】大型の真空装置であって、不活性ガスを導入するためのガス導入バルブと、大気を導入するための大気導入バルブと、前記真空装置内を真空にするための真空ポンプ及び真空バルブと、人が出入りし得るドアとを備えた大型真空装置において、前記真空装置内の圧力を検知してその値が所定値以下に達しているかどうかを判断する判別手段と、この判別手段の出力信号と前記真空バルブのしゃ断信号とのAND演算を行いその演算結果に基づき前記大気導入バルブが開けるようにした制御回路とを備えたことを特徴とする大型真空装置の制御装置。

IPC (2件)：

F04B 37/16 ,  F04B 49/06 341

FI (2件)：

F04B 37/16 A ,  F04B 49/06 341 J