特許

J-GLOBAL ID：201103008895504194

ラミネート装置用熱板およびその熱板を用いたラミネート装置

発明者： 仲濱 秀斉 ,  前田 修二 ,  矢野 圭祐 ,  篠田 隆志 ,  中野 裕嗣
出願人/特許権者： 日清紡メカトロニクス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-105897
公開番号（公開出願番号）：特開2011-235442
出願日： 2010年04月30日
公開日（公表日）： 2011年11月24日
要約：

【課題】 本発明は、ラミネート加工した被加工物内の架橋密度を均一にできる熱板をおよびその熱板を使用したラミネート装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明のラミネート装置用の熱板は、押圧部材により仕切られた上チャンバと下チャンバとを有し、その下チャンバに設けられた熱板上に被加工物を載置し、前記熱板により加熱した前記被加工物を、前記下チャンバを真空とし前記上チャンバに大気を導入し前記熱板と前記押圧部材とで挟圧してラミネートするラミネート装置に使用する熱板を、前記熱板の加熱領域を、被加工物の中央から周辺に向かって略同心形状に分割した各加熱領域とし、各加熱領域に一つ以上のヒーターを設け、前記加熱領域を個別に温度制御する構成とした。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

押圧部材により仕切られた上チャンバと下チャンバとを有し、その下チャンバに設けられた熱板上に被加工物を載置し、前記熱板により加熱した前記被加工物を、前記下チャンバを真空とし前記上チャンバに大気を導入し前記熱板と前記押圧部材とで挟圧してラミネートするラミネート装置に使用する熱板であって、 前記熱板は、前記熱板の加熱領域を、被加工物の中央から周辺に向かって略同心形状に分割した各加熱領域とし、各前記加熱領域に一つ以上のヒーターを設け、前記加熱領域を個別に温度制御することを特徴とするラミネート装置用の熱板。

IPC (5件)：

B29C 65/02 ,  H01L 31/042 ,  B29C 65/24 ,  H05B 3/00 ,  H05B 3/68

FI (5件)：

B29C65/02 ,  H01L31/04 R ,  B29C65/24 ,  H05B3/00 370 ,  H05B3/68

Fターム (18件)：

3K058AA86 ,  3K058BA00 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB41 ,  3K092QB51 ,  3K092VV22 ,  4F211AG03 ,  4F211AH33 ,  4F211TA01 ,  4F211TC02 ,  4F211TD11 ,  4F211TH07 ,  4F211TQ08 ,  5F151BA18 ,  5F151JA03 ,  5F151JA04 ,  5F151JA06