特許
J-GLOBAL ID：201103008978872098
めっきレジストの露光方法とその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田下 明人 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-017335
特許番号：特許第3048565号
出願日： 1999年01月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 プリント配線板のめっきレジストの露光方法において、金属層上に配設された層間絶縁樹脂層に凹部が形成されて、該凹部内に金属膜を施してなる位置決めマークであって、下部に金属層が配設されていない位置決めマークを備える基板に、ドライフィルムを貼り付け、前記基板の位置決めマークを反射式による画像処理で認識して、前記基板と配線が描画されたマスクとを位置合わせし、前記ドライフィルムを露光する、ことを特徴とするプリント配線板のめっきレジストの露光方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G03F 9/00 Z
, H05K 3/00 G
, H05K 3/00 H
