特許
J-GLOBAL ID：201103009133450310

特に2つの実質的に互いに直交する方向に光ビームを偏向するための光学装置

発明者：
ヨハン、エンゲルハルト

ヨハン、エンゲルハルト について


出願人/特許権者：
ライカ マイクロシステムズ ツェーエムエス ゲーエムベーハー

ライカ マイクロシステムズ ツェーエムエス ゲーエムベーハー について


代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-203644
公開番号（公開出願番号）：特開2002-062504
特許番号：特許第4467841号
出願日： 2001年07月04日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 2つの実質的に互いに直交する方向(2,3)に光ビーム(1,14)を偏向するための光学装置であって、x軸(6)とy軸(7)とは常に直交し、前記y軸(7)を中心にして回転駆動装置(5)によって回転されることができる第1ミラー(8)と前記x軸(6)を中心にして回転駆動装置(4)によって回転されることができる第3ミラー(10)とを有し、前記前記第1ミラー(8)が、回転に関して固定される態様で、規定の角度位置にある第2のミラー(9)に割当てられ、 互いに割当てられる第1および第2ミラー(8,9)が前記y軸(7)を中心にして協働して回転し、その際、第3のミラー(10)の回転軸(6)、すなわち前記x軸にある点(11)を中心にして光ビーム(1,14)を回転する光学装置であって、 前記第1ミラー(8)、前記第2ミラー(9)および前記第3ミラー(10)は、該第2のミラー(9)と該第3のミラー(10)との間で進む光ビーム(12)によって規定される光軸が、常に、前記x軸(6)を含み、かつ前記y軸(7)と直交する面に実質的に存在するように配置され、 前記第1および第2のミラー(8,9)はハウジング(16)内に配置され、前記ハウジング(16)は光ビーム(14,12)が出入りする少なくとも2つの開口部(17,18)を有し、 前記ハウジング(16)は、y軸(7)を中心にして回転する前記回転駆動装置(5)と直接連結され、 前記回転駆動装置(4,5)は保持装置(19)上に直接取り付けられ、 前記保持装置(19)は回転可能であるように配置され、 前記2つのミラー(8,9)を有する前記ハウジング(16)の前記回転軸受(21)は、前記保持装置(19)の回転軸受け(23)に取り付けられ、 前記ハウジング(16)の前記回転軸受(21)および前記保持装置(19)の前記回転軸受(23)はそれぞれ前記偏向された光ビーム(13)が通過できるように作られた経路(22)を有す ることを特徴とする光学装置。
IPC (1件)：
G02B 26/10 ( 200 6.01)
FI (1件)：
G02B 26/10 C
引用特許：
審査官引用 (4件)
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