荷電粒子線用静電多重極レンズ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-303920
公開番号（公開出願番号）：特開平3-165444
出願日： 1989年11月22日
公開日（公表日）： 1991年07月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】x-y-z直交座標系においてz軸に沿って荷電粒子線が進行すると仮定した時、z軸で交差する平面y=±(tan(π/n))xによって挟まれ且つx軸を含む領域に静電n重極場を発生させる荷電粒子線用静電多重極レンズであって、上記平面あるいは該平面近傍における前記静電n重極場の等電位面に沿って配置され且つ該z軸付近で切除されている板状電極と、前記領域に発生すべき前記静電n重極場の第2の等電位面に近似的に沿うような表面形状を有し且つ該領域のx軸上に夫々配置される棒状電極と、前記板状電極及び棒状電極に夫々の等電位面に応じた電位を与える手段とから構成されることを特徴とする荷電粒子線用静電多重極レンズ。

IPC (2件)：

H01J 49/22 4230-5E , H01J 49/42 4230-5E

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