特許
J-GLOBAL ID：201103009244843159
レーザ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-232803
公開番号（公開出願番号）：特開2001-060733
特許番号：特許第3819181号
出願日： 1999年08月19日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 レーザ媒質ガスを予備電離し,レーザ光軸に直交する方向に対向して設けられた一対の主放電電極間にグロー放電を発生させることでレーザ光を得るレーザ装置において、レーザ光軸方向に沿って所定間隔で配置された複数のコロナ予備電離用の針状電極と、前記針状電極の先端部と対向する位置でレーザ光軸に平行に配置される負荷電極と、前記負荷電極を被覆する誘電体と、を備えることを特徴とするレーザ装置。
IPC (2件)：
H01S 3/0977 ( 200 6.01)
, H01S 3/038 ( 200 6.01)
H01S 3/097 E
, H01S 3/03 D
