ガス・センサに属する検出器を製作する方法およびこの方法に従って製作した検出器

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：森本義弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-531725
特許番号：特許第4401021号
出願日： 1999年02月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】検出器(3)は、測定または評価される一定の体積の気体(G)と、気体が出入りする開口(21A、21A’、21B)を含むキャビティ(21)が規定された気体セル(2)を形成したガス・センサ(1)において、赤外の光線(4)を放射する第1の装置(1a)と、キャビティ(21)に前記光線(4)を導くために、前記光線(4)は前記キャビティ(21)を規定している相互に対向する内部表面(21C、21D及び21E)に対し繰り返し反射し、前記光線(4)を受信する第2の装置(3)と、一つ以上の電気回路または電子回路(1b)は、前記第1の装置(1a)によって送信され、第2の装置(3)にて受信される光線(4)の強度を評価するために適応され、光線(4)の強度に基いて、気体(G)の特性及び/又は濃度を評価し、前記気体セル(2)は1以上の異なる金属層で覆われる第1の部分として形成され、前記電磁波に対する反射率が高い表面から形成され、そして、前記第2の装置(3)が熱素子であり、前記気体によって光が吸収され、検出器に受信した光線により生じた熱を検出し、電気的に不導体であるベース構造(B)及びその一部分に、1つ以上の表面領域にトポグラフィ構造を有する電気回路または電子回路(1b)を構成し、前記トポグラフィ構造を呈している少なくとも1つの表面領域または多数の表面領域が、前記熱素子からなり、前記第1の金属層(M1)は、90°以外の第1の入射角で、トポグラフィ構造の表面領域に付着され、前記第2の金属層(M2)が、前記第1の入射角とは異なる、90°以外の第2の入射角でトポグラフィ構造の表面領域に付着され、前記第1の金属層及び前記第2の金属層が、検出器(3)のトポグラフィ構造の隆起部の上面にて重ねあわされ、前記第1の金属層及び前記第2の金属層が、表面領域の範囲内で前記第2の装置が形成され、検出器のトポグラフィ構造の隆起部の上面で熱電対の機能をもたらす金属から構成され、そして、導電体及び/又は電気回路及び/又は電子回路が、前記限られた表面領域内に同様に設けられ、前記トポグラフィ構造は、前記第2の装置、導電路及び/又は電気及び/又は電子回路に属している必要な接続パッドを形成するように適合され、導電路及び/又は電気及び/又は電子回路は第2の部分に形成されることを特徴とする検出器。

IPC (3件)：

G01N 21/35 ( 200 6.01) , G01N 21/03 ( 200 6.01) , H01L 27/16 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01N 21/35 Z , G01N 21/03 B , H01L 27/16

引用特許：

出願人引用 (4件)

赤外線ガス分析計
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-058464 出願人：株式会社堀場製作所
特開平4-342177
液晶表示素子及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-001799 出願人：ミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー

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審査官引用 (5件)

赤外線ガス分析計
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-354458 出願人：株式会社堀場製作所
赤外線ガス分析計
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-058464 出願人：株式会社堀場製作所
特開平4-342177

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