特許
J-GLOBAL ID：201103009603796617
超音波アクチュエータと、これの制御方法と、超音波アクチュエータを利用した位置決め装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋本 正実
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-334840
公開番号（公開出願番号）：特開平3-198671
特許番号：特許第2599801号
出願日： 1989年12月26日
公開日（公表日）： 1991年08月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】テーブルに、軸方向に伸縮振動を発生する振動駆動源を有する第1の振動子と、前記軸方向と直交する面内で、たわみ振動を発生する振動駆動源を有する第2の振動子とを取り付け、前記第1,第2の振動子を、当該振動駆動源の振動と共振状態となり、振幅する拡大するランジュバン型に形成し、前記第1,第2の振動子におけるテーブル側と反対側の端部に、位置固定のベースに第1,第2の振動子を各別に圧着させ、固定する圧着手段を設けるとともに、前記第1,第2の振動子の振動駆動源を、所定のシーケンスに従って駆動する制御手段に接接続したことを特徴とする超音波アクチュエータ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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