マイクロエレクトロニクスセンサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：伊東忠彦 , 大貫進介 , 伊東忠重
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-531625
公開番号（公開出願番号）：特表2011-503536
出願日： 2008年10月30日
公開日（公表日）： 2011年01月27日
要約：

結合表面(12)付近で標的成分(10)を検出するマイクロエレクトロニクスセンサデバイス(100)が供される。当該マイクロエレクトロニクスセンサデバイス(100)は、前記結合表面(12)に入射する、ある波長を有する放射線ビーム(101)を放出する光源(21)、前記結合表面(12)によって画定され、かつ前記結合表面(12)から減衰長にわたって試料チャンバ(2)にまで延在する検出容積(4)内において、前記結合表面(12)に入射する放射線に応答してエバネッセント放射線を供する、前記結合表面(12)付近に設けられた光学構造(11)、並びに、前記光源(21)から放出された入射放射線に応答して、前記の検出容積(4)内に存在する標的成分(101)からの放射線を検出する検出器(31)を有する。前記結合表面(12)には、回折限界未満である最大面内検出容積寸法(W1)によって取り囲まれた1つ以上の検出容積(4)を供する、誘電材料(3)からなる直立する壁(3)が供される。前記回折限界は、前記放射線の波長及び前記標的成分(10)を含む媒質(2)によって定められる。

請求項（抜粋）：

媒質中に標的成分を含む検出容積内において、入射放射線に応答してエバネッセント放射線を供する光学素子であって、前記検出容積は回折限界未満である少なくとも1つの面内寸法を有し、前記回折限界は、前記放射線の波長及び前記標的成分を含む媒質によって定められ、前記検出容積には誘電材料からなる少なくとも1つの壁が供される、光学素子。

IPC (2件)：

G01N 21/27 , G01N 21/01

FI (2件)：

G01N21/27 C , G01N21/01 B

Fターム (18件)：

2G059AA01 , 2G059BB06 , 2G059BB12 , 2G059BB14 , 2G059CC16 , 2G059DD12 , 2G059EE02 , 2G059EE07 , 2G059FF01 , 2G059GG01 , 2G059GG02 , 2G059HH02 , 2G059JJ03 , 2G059JJ11 , 2G059JJ19 , 2G059KK01 , 2G059KK02 , 2G059PP10

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