特許

J-GLOBAL ID：201103009833908872

真空プレート弁を備える真空配置

発明者： ワグナー,ルドルフ
出願人/特許権者： エリコン・ソーラー・アイ・ピィ・アクチェンゲゼルシャフト,トリュープバッハ
代理人 (7件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  酒井 將行 ,  荒川 伸夫 ,  佐々木 眞人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-530725
特許番号：特許第4452893号
出願日： 1999年01月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 壁(3)と、その壁(3)に形成された少なくとも一つの開口部(19)と、さらにそのための真空プレート弁とを備える真空配置であって、 ・ 壁に対して平行に、かつ担体プレート(1)と壁(3)との間に隙間を挟んで壁に沿って動くよう載置され、移動経路が開口部(19)の上を通り、開口部(19)を開放するための開放用開口部(23)を有する担体プレート(1)と、 ・ 前記開放用開口部(23)の横に配置され、壁側を向いた前記担体プレート(1)の表面に対して垂直に動くよう載置され、前記表面に対して平行な、少なくとも一つのパッキンプレート(7)と、 ・ 担体プレート(1)と前記開放用開口部(23)の横に配置された前記少なくとも一つのパッキンプレート(7)との間に、拡張可能な作動シリンダ空間と、さらに ・ 担体プレート(1)を通って、または担体プレート(1)上を導かれ、シリンダ空間(11)内に合流する圧力媒体管(13)とを、前記真空プレート弁が含むことを特徴とする配置であって、 ・ 担体プレート(1)は移動ガイド(5)によって壁(3)に対して支持され、前記移動ガイド(5)は、壁(3)に取り付けられ、かつパッキンプレート(7)に向けて反作用するパッキン力を対向支持する、配置。

IPC (2件)：

F16K 3/18 ( 200 6.01) ,  F16K 51/02 ( 200 6.01)

FI (2件)：

F16K 3/18 B ,  F16K 51/02 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特公昭49-043679
  
• 特公昭49-043679