特許
J-GLOBAL ID:201103010067038702

光起電力装置及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 芝野 正雅
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-126170
公開番号(公開出願番号):特開平11-340485
特許番号:特許第3649948号
出願日: 1999年05月06日
公開日(公表日): 1999年12月10日
請求項(抜粋):
【請求項1】酸化亜鉛の透明導電膜と、該透明導電膜上に形成された導電性非晶質シリコンカーバイドとを備える光起電力装置であって、前記酸化亜鉛の透明導電膜と導電性非晶質シリコンカーバイドとの間に、膜厚が10〜30Åのボロンを含有する非晶質シリコンを隣接配置させたことを特徴とする光起電力装置。
IPC (1件):
H01L 31/04
FI (1件):
H01L 31/04 B
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • 特開平1-161776
  • 特開平2-202068
  • 特開平4-369870
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