特許

J-GLOBAL ID：201103010337341941

ウエハの歪修正装置

発明者： 浜田 史郎
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-238815
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068429
特許番号：特許第3505678号
出願日： 1999年08月25日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ウエハを移動させるためのX-Yステージと、前記ウエハの歪量を計測するための歪計測手段と、前記ウエハに生じた歪にレーザ光を照射するためのレーザ発振器と、前記X-Yステージ、前記歪計測手段、及び前記レーザ発振器を制御して、前記ウエハの歪にレーザ光を照射させ、前記ウエハの歪を修正する制御手段とを備えていることを特徴とするウエハの歪修正装置。

IPC (3件)：

H01L 21/268 ,  B23K 26/00 ,  G01B 11/16

FI (4件)：

H01L 21/268 E ,  H01L 21/268 T ,  B23K 26/00 A ,  G01B 11/16 Z