特許
J-GLOBAL ID：201103010444121105
フリップチップの実装装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-163035
公開番号（公開出願番号）：特開平3-029334
出願日： 1989年06月26日
公開日（公表日）： 1991年02月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】フリップチップの供給装置と、フリップチップのバンプ形成面に吸着してこれをテイクアップするノズルを複数個備えたチップ吸着装置と、テイクアップされたフリップチップを表裏反転させるべく、上記チップ吸着装置を回転させる回転装置と、上記複数個のノズルのうちの任意のノズルを作業位置に位置させるノズル選択装置と、表裏反転されたフリップチップのバンプ非形成面に吸着してこれをテイクアップし、このフリップチップを位置決め部に位置決めされた基板に移送搭載する移送ヘッドから成ることを特徴とするフリップチップの実装装置。
IPC (1件)：
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