特許
J-GLOBAL ID：201103010555087496
マスクを移動させて位置合わせを行う露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-160724
公開番号（公開出願番号）：特開2000-347425
特許番号：特許第3376961号
出願日： 1999年06月08日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 マスクに形成されたマスクアライメントマークとワークに形成されたワークアライメントマークとを、アライメント顕微鏡によって検出し、マスクとワークの位置合わせを行ない、マスクに形成されたパターンをワークに転写する露光装置であって、上記露光装置は、上記マスクを保持するマスクステージを移動させるマスクステージ移動手段と、該マスクステージと一体構造のアライメント顕微鏡と、上記マスクステージを移動させてマスクとワークの位置合わせを行う制御手段とを備え、上記制御手段は、上記アライメント顕微鏡によるアライメントマークの検出に際し、ワークアライメントマークがアライメント顕微鏡の視野内にはいらないとき、上記マスクステージとアライメント顕微鏡を一体で移動させて、ワークアライメントマークを探索し、ワークアライメントマークを検出した後に、マスクとワークの位置合わせを行うことを特徴とするマスクを移動させて位置合わせを行う露光装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 9/00 Z
, H01L 21/30 515 D
