特許
J-GLOBAL ID：201103010803514487
研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
鎌田 文二
, 東尾 正博
, 鳥居 和久
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-247182
公開番号（公開出願番号）：特開2001-071252
特許番号：特許第4139009号
出願日： 1999年09月01日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】研磨ディスクを回転させる駆動手段の前面に、その回転軸と平行な軸上に間隔をあけて二個の垂直軸受けを設け、同駆動手段の両側に、その回転軸に対し直角な軸上に水平軸受けを設け、上記垂直軸受けの間に隙間をあけてウォームを嵌め、このウォームの中心孔と垂直軸受けに亘ってバネ座とバネを嵌め上端にノブを設けた垂直軸を嵌挿してウォームと垂直軸とを固定し、上記水平軸受けに水平軸を回転可能に嵌挿し、この水平軸にセクタギヤーを嵌めて上記ウォームに噛合させて固定し、上記水平軸の後方延長部を折り返してローラー軸とし、この軸にローラーを回転可能に嵌めてなる研磨装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
前のページに戻る
