特許
J-GLOBAL ID:201103011017455953

レーザマーキング装置、その光路遮蔽部材、および光軸検査器具

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石川 泰男 (外2名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-104221
公開番号(公開出願番号):特開2000-296482
特許番号:特許第3344967号
出願日: 1999年04月12日
公開日(公表日): 2000年10月24日
請求項(抜粋):
【請求項1】 レーザ光源から射出されたレーザ光を所定の遮蔽構造内に収容された光学系を介してマスク上に導き、そのマスクに設けられたパターンを転写対象物に転写するレーザマーキング装置において、前記遮蔽構造に、前記光学系の構成要素を収容する中空構造のハウジングと、中空の連結具を介して前記ハウジングに接続され、前記ハウジングに入射するレーザ光の光路を覆うデリバリチューブとを設け、前記連結具に、前記レーザ光のビーム形状を写し取るためのスクリーンを保持可能なホルダを抜き差しするための開口を設けて、前記スクリーンが前記遮蔽構造の定位置に保持されるよう構成されたことを特徴とするレーザマーキング装置。
IPC (4件):
B23K 26/04 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/08 ,  B25H 7/04
FI (4件):
B23K 26/04 A ,  B23K 26/00 B ,  B23K 26/08 N ,  B25H 7/04 E
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭55-062319
  • 特開昭57-040618

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