特許
J-GLOBAL ID：201103011260711720
傾斜ステージ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡崎 謙秀
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-315894
公開番号（公開出願番号）：特開2001-132743
特許番号：特許第4236353号
出願日： 1999年11月05日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 モータの回転により押動される第1移動ステージと、ばね板を介して一端が第1移動ステージに連結され、他端に球面体と試料台を備えた傾斜軸と、球面体が摺動する球面座と、試料台と第1移動ステージの中間を支持するステージベースと、傾斜軸方向に試料台を移動する試料の上下位置調整機構とを備え、上下位置調整機構によって傾斜ステージの円弧中心と試料表面との位置を調整し、かつ、モータの回転により、第1移動ステージを押動し、傾斜軸を球面座に沿って回転傾斜して、試料台を傾斜させることを特徴とするX線装置用の傾斜ステージ。
IPC (4件)：
F16C 23/04 ( 200 6.01)
, F16C 19/50 ( 200 6.01)
, G12B 5/00 ( 200 6.01)
, G01N 23/00 ( 200 6.01)
F16C 23/04 E
, F16C 19/50
, G12B 5/00 A
, G01N 23/00
