酸素センサ素子の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：足立勉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-274285
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099806
特許番号：特許第3766572号
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】酸素イオン伝導性を有する固体電解質体と、該固体電解質体の表面に設けられた電極と、少なくとも該電極の表面に被覆された多孔質の電極保護層とを有してなる酸素センサ素子を製造する方法であって、前記固体電解質体の表面に未熱処理状態にある電極を被着し、20〜35kWの範囲内にプラズマ電力を保持させた状態でプラズマ溶射を行うことによって、前記電極の表面に前記電極保護層を被覆するのと同時に、該電極を熱処理するようにしたことを特徴とする酸素センサ素子の製造方法。

IPC (1件)：