特許
J-GLOBAL ID：201103011607404700
単結晶部材の作製方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-193953
特許番号：特許第3062603号
出願日： 1999年07月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 単結晶基板の表面に種結晶部を形成し、この種結晶部を所定の元素を過飽和に含有してなる溶液に接触させ、前記元素を構成要素として含有してなる単結晶を前記種結晶部から前記単結晶基板の表面に対して垂直方向に選択的にエピタキシャル成長させることにより、単結晶部材を作製することを特徴とする、単結晶部材の作製方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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