特許

J-GLOBAL ID：201103011722204463

インプリント用硬化性組成物、硬化物および硬化物の製造方法

発明者： 藤田 明徳
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-270140
公開番号（公開出願番号）：特開2011-111553
出願日： 2009年11月27日
公開日（公表日）： 2011年06月09日
要約：

【課題】パターンニング繰り返し耐性に優れたインプリント用硬化性組成物を提供する。【解決手段】(A)光ラジカル発生剤と(B)重合性単量体を含むインプリント用硬化性組成物であって、前記(A)光ラジカル発生剤が、イミダゾール2量体であり、前記(B)重合性単量体の含有量が該組成物中の溶剤を除く成分の80重量%以上である、インプリント用硬化性組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)光ラジカル発生剤と(B)重合性単量体を含むインプリント用硬化性組成物であって、前記(A)光ラジカル発生剤が、イミダゾール2量体であり、前記(B)重合性単量体の含有量が該組成物中の溶剤を除く成分の80重量%以上である、インプリント用硬化性組成物。

IPC (3件)：

C08F 2/50 ,  H01L 21/027 ,  B29C 59/02

FI (3件)：

C08F2/50 ,  H01L21/30 502D ,  B29C59/02 Z

Fターム (23件)：

4F209AA44 ,  4F209AB04 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  4J011QA03 ,  4J011QA12 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011SA78 ,  4J011UA01 ,  4J011UA02 ,  4J011UA03 ,  4J011UA04 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  5F046AA28 ,  5F146AA28