プラズマ発生装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：深見久郎 , 森田俊雄 , 伊藤英彦 , 堀井豊 , 森下八郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-302259
公開番号（公開出願番号）：特開2001-127533
特許番号：特許第3967050号
出願日： 1999年10月25日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】チャンバと、前記チャンバ内に設置され、複数の第1電極を含む陽極と、前記チャンバ内に設置され、複数の第2電極を含む陰極と、前記第1および第2電極に電圧を印加することにより、指向性電磁波を反射する板状プラズマを生成するための電源と、前記第1および第2電極に前記電源からの電圧を切り替えて印加することにより、前記板状プラズマの角度や形状を変化させるための第1および第2切替手段と、を備えたプラズマ発生装置。

IPC (4件)：

H01Q 15/14 ( 200 6.01) , H01Q 3/16 ( 200 6.01) , H01Q 19/10 ( 200 6.01) , H05H 1/24 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01Q 15/14 Z , H01Q 3/16 , H01Q 19/10 , H05H 1/24

引用特許：

出願人引用 (1件)

板状プラズマの生成法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-248540 出願人：株式会社日本製鋼所

審査官引用 (1件)

板状プラズマの生成法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-248540 出願人：株式会社日本製鋼所

引用文献：

出願人引用 (8件)

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審査官引用 (8件)

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