特許
J-GLOBAL ID:201103012144946440

炭化珪素多孔質焼結体の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平1-165270
公開番号(公開出願番号):特開平3-033089
特許番号:特許第2588277号
出願日: 1989年06月29日
公開日(公表日): 1991年02月13日
請求項(抜粋):
【請求項1】高純度炭化珪素を焼成して炭化珪素多孔質焼結体を形成する工程と;この炭化珪素多孔質焼結体の少なくとも開気孔に、少なくとも硝酸アルミニウムを含む酸化物被膜形成材の溶液又は懸濁液を浸入させる工程と;次いで、前記炭化珪素多孔質焼結体を回転させながら乾燥し、少なくとも前記開気孔の表面に前記酸化物被膜形成材を付着させる工程と;しかる後に前記炭化珪素多孔質焼結体を焼成し、少なくとも前記開気孔の表面に酸化物被膜を形成する工程とを有する炭化珪素多孔質焼結体の製造方法。
IPC (2件):
C04B 41/87 ,  C04B 41/85
FI (2件):
C04B 41/87 M ,  C04B 41/85 B

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