特許

J-GLOBAL ID：201103012253044545

光ビーム調整方法及び光ビーム調整装置

発明者： 境谷 至男 ,  福島 英喜
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： 春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-208347
公開番号（公開出願番号）：特開2011-059335
出願日： 2009年09月09日
公開日（公表日）： 2011年03月24日
要約：

【課題】部品数の増加及び装置の大型化を伴うことなく、短時間でビーム照射位置の調整が可能なビーム調整装置を実現する。【解決手段】調整用ミラー19a、19bはチルト機構101により回転され、シフト機構102により直線的に移動される。光18はビーム調整機構10で調整後、集光レンズ移動機構121でレンズ12を移動させレンズ12通過後の光及びレンズ12を通過しない光がCCDカメラ13に照射される。レンズ12とCCDカメラ13の受光面との距離は焦点距離でありレンズ12中心とCCDカメラ中心との位置を合せておく。チルト調整量を算出しビーム調整機構10で平行光となるように補正し、その後にレンズ12を通過させずにCCDカメラ13に光を入射させビームのシフト調整量を算出しビーム調整機構10でCCDカメラ13の中心に光が収束するようにビームのシフト、チルトを補正する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

光源からの光ビームを反射ミラーにより反射させて、撮像手段を照射させ、光ビームの上記撮像手段の照射位置に基づいて、上記反射ミラーによる上記光ビームの反射方向を調整する光ビーム調整方法であって、 上記反射ミラーから反射された光ビームを、集光レンズを介して上記撮像手段を照射させ、光ビームの照射位置に基づいて、上記反射ミラーの反射角度を調整し、 上記反射ミラーから反射された光ビームを、集光レンズを介することなく、上記撮像手段を照射させ、光ビームの照射位置に基づいて、上記反射ミラーへの上記光ビームの照射位置を調整し、 上記反射ミラーによる上記光ビームの反射方向を調整することを特徴とする光ビーム調整方法。

IPC (5件)：

G02B 26/08 ,  H01L 21/027 ,  G03F 1/08 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G02B26/08 E ,  H01L21/30 502V ,  G03F1/08 S ,  G01B11/30 Z ,  H01L21/66 J

Fターム (64件)：

2F065AA49 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL00 ,  2F065LL06 ,  2F065LL12 ,  2F065LL21 ,  2F065LL30 ,  2F065LL37 ,  2F065NN01 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BB05 ,  2G051BB11 ,  2G051CA04 ,  2G051CA11 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CC09 ,  2G051CC11 ,  2G051DA08 ,  2H095BD02 ,  2H095BD04 ,  2H095BD11 ,  2H095BD13 ,  2H095BD17 ,  2H095BD20 ,  2H141MA12 ,  2H141MB23 ,  2H141MB25 ,  2H141MB36 ,  2H141MC01 ,  2H141MD03 ,  2H141MD12 ,  2H141MD20 ,  2H141MD34 ,  2H141ME01 ,  2H141ME09 ,  2H141ME24 ,  2H141ME25 ,  2H141MF01 ,  2H141MF28 ,  2H141MG10 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106CA39 ,  4M106DB04 ,  4M106DB08 ,  4M106DB19 ,  4M106DB20 ,  4M106DJ19