特許
J-GLOBAL ID：201103012769092619
ばねプローブ、ばねプローブ組立体及びそれらの組立方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-159442
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241447
特許番号：特許第3210645号
出願日： 1999年06月07日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 開口端と閉止端を有するバレルであって、前記閉止端から延設される先端部と、前記バレルから半径方向外側に拡がり、ばねを支持する面と、を有するバレルと、プランジャーであって、一端にある先端部と、前記プランジャーから半径方向外側に拡がり、ばねを支持する面と、前記先端部の反対方向に延設されるステムと、前記先端部の反対方向に前記ステムから延設されると共に前記バレルの内部に滑動可能に係合される支持部であって、前記ステムより太くなっている支持部と、前記支持部と前記先端部との間において、前記プランジャーから半径方向外側に向い且つ前記支持部の方に向って延設される面であって、前記バレルと前記プランジャーの圧縮の間に前記バレルの開口端と係合して、前記支持部を前記バレル内に保持するように前記開口端を半径方向内側に曲げる面と、を有するプランジャーと、2つのばねを支持する面の間に挟まれると共に前記バレルとプランジャーを付勢する前記バレルを包囲するばねと、を有するばねプローブ。
IPC (3件)：
G01R 1/067
, H01L 21/66
, H01R 13/24
G01R 1/067 C
, H01L 21/66 B
, H01R 13/24
