特許
J-GLOBAL ID：201103012853884512
信号スイッチングエレメントおよびそれを動作させる方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
岡部 正夫
, 加藤 伸晃
, 臼井 伸一
, 越智 隆夫
, 朝日 伸光
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-307407
公開番号（公開出願番号）：特開2002-196266
特許番号：特許第4351408号
出願日： 2001年10月03日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 電磁放射の入射ビームにより信号スイッチングを提供すべく半導体の材料特性と結合された、前記電磁放射のコヒーレント特性を使用する信号スイッチングエレメントであって、
入力ポートと出力ポートを備えたバルク半導体、
該バルク半導体上の半導体ウェハ、
前記入射ビームを透過又は反射するための、前記半導体ウェハの主表面上に所定パターンで形成された複数の動作可能なMEMS手段、及び
前記複数の動作可能MEMS手段の動作を制御する、前記半導体ウェハに動作可能に接続されたスイッチングコントローラ手段とを有し、
前記スイッチングコントローラ手段が、前記半導体ウェハの主表面に対して、前記複数の動作可能MEMS手段の少なくとも1つの位置を変化させ、前記複数の動作可能MEMS手段に入射する電磁放射のビームのウェーブフロントに位相遅延を与えており、
該位相遅延された電磁放射のビームが該バルク半導体に照射され、該電磁放射の位相遅延されたビームと電磁放射の入射ビームの一部とを結合することにより該バルク半導体内に三次元の体積空間干渉パターンを生成して、該バルク半導体内に抵抗変化又は屈折率変化を生じさせてチャネルを形成し、該入力・出力ポート間での信号スイッチングを行っていることを特徴とする信号スイッチングエレメント。
IPC (4件)：
G02B 26/08 ( 200 6.01)
, G02B 5/08 ( 200 6.01)
, G03H 1/04 ( 200 6.01)
, H04B 10/02 ( 200 6.01)
G02B 26/08 E
, G02B 5/08 Z
, G03H 1/04
, H04B 9/00 T
