特許

J-GLOBAL ID：201103013076363178

搬送装置

発明者： 大槻 勝巳
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 筒井 秀隆
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-255035
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077131
特許番号：特許第3554961号
出願日： 1999年09月09日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】直角な2面を有する磁性ワークの第1面を滑動自在にガイドするガイド面を有する非磁性のレールと、上記ワークの第2面に接触する搬送面を有し、レールに沿って移動自在な非磁性ベルトと、非磁性ベルトを周回駆動させる駆動手段と、上記ベルトを間にしてレールのガイド面と対向する位置に配置されたヨークと、一方の磁極に上記ヨークが配置され、ワークの第2面をベルトに密着させる分力と、ワークの第1面をレールのガイド面に接触させる分力とを有する磁力を発生する磁石とを備え、上記ベルトは非磁性金属ベルトで構成され、上記ヨークの非磁性金属ベルトと対面する部位が耐摩耗性と自己潤滑性とを有する樹脂製ガイド部材で覆われ、上記樹脂製ガイド部材は上記ベルトの搬送面の背面を摺動自在に支持していることを特徴とする搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/50 ,  B65G 15/58

FI (2件)：

H01L 21/50 D ,  B65G 15/58

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-023229   出願人：株式会社村田製作所
• 搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-252271   出願人：株式会社村田製作所