特許
J-GLOBAL ID：201103013134573951
液体金属イオン源、液体金属イオン源の製造方法、及びイオンビーム照射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
恩田 博宣
, 恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-076282
公開番号（公開出願番号）：特開2011-210489
出願日： 2010年03月29日
公開日（公表日）： 2011年10月20日
要約：
【課題】イオンビームの放出電流値の安定性を向上させることの可能な液体金属イオン源、該液体金属イオン源を製造する方法、及び該液体金属イオン源を備えるイオンビーム照射装置を提供する。【解決手段】液体金属イオン源10は、外周面が互いに接する並列に配置された2本の金属ワイヤ11a,11bで形成されたニードル電極11を備え、ニードル電極11は、金属ワイヤ11a,11bの位置関係が整合された案内流路および放出端Tを備え、案内流路は放出端Tまで連なって形成される。案内流路の底に向かって、案内流路の幅はゼロまで小さくなるため、案内流路に液体金属が供給されると、案内流路の底近傍において毛細管現象が発現し、通常のサーフェスフローではなくボリュームフローが発現する。また、放出端Tへの液体金属の流れは連続的になり、濡れ性の悪い液体金属を用いても放出端Tまで安定に供給され、イオンビーム放出電流値が安定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
先端で液体金属イオンビームが放出されるニードル電極を有する液体金属イオン源において、
前記ニードル電極は、
外周面が互いに接する並列に配置された2本の金属ワイヤを有し、
前記2本の金属ワイヤは、
各外周面の互いに接する部分で前記ニードル電極の先端を構成し且つ、各外周面の互いに接する部分を前記ニードル電極の先端から連ねることによって、前記2本の金属ワイヤの断面形状において、前記各外周面の互いに接する部分が底であって各外周面が側壁となる溝を、前記ニードル電極の先端まで形成する
ことを特徴とする液体金属イオン源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (1件)：
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