特許
J-GLOBAL ID:201103013154998045

スクロ-ル真空ポンプ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 今村 定昭 (外3名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-325966
特許番号:特許第3072427号
出願日: 1999年11月16日
請求項(抜粋):
【請求項1】 第1のフレームに旋回自在に装着された回転ロータと第2のフレームとしての固定ロータとの間に三日月状の圧縮室を形成し、前記回転ロータを旋回させることで前記圧縮室を徐々に縮小して吸入口から吸引した流体を吐出口から吐出させるようにしたスクロール真空ポンプにおいて、前記第1のフレームと第2のフレームとがヒンジで開閉自在に連結され、このヒンジは前記両ロータを軸心方向に解離させる軸心方向平行移動と支軸を中心に回動させる回転移動とを可能とする2自由度を有することを特徴とするスクロール真空ポンプ。
IPC (3件):
F04C 18/02 311 ,  F04C 25/02 ,  F04C 29/00
FI (4件):
F04C 18/02 311 B ,  F04C 18/02 311 P ,  F04C 25/02 N ,  F04C 29/00 B

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