ピラニ真空計

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：清水善廣 , 阿部伸一 , 辻田幸史 , 田代作男 , 町田悦夫 , 打揚洋次
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-053815
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249617
特許番号：特許第4264156号
出願日： 1999年03月02日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ピラニ真空計のエンベロープ内に設けられるフィラメントを複数本のフィラメント部材で構成したものに於いて、該エンベロープの一端を閉鎖する端子に、2本の電気接続ピンと1本の金属軸を埋設し、該金属軸に該エンベロープの内部へ延びる取付板を設けると共に該取付板の板面に電気絶縁された導電端子板を設け、各フィラメント部材が両電気接続ピン間で電気的に直列に接続されるように各導電端子板に各フィラメント部材の両端部を溶接したことを特徴とするピラニ真空計。

IPC (1件)：