層間絶縁膜形成用組成物の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：白井重隆
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-116286
公開番号（公開出願番号）：特開2000-303023
特許番号：特許第4344893号
出願日： 1999年04月23日
公開日（公表日）： 2000年10月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】溶媒中、下記一般式(I)で表されるオルガノシラン(I)と下記一般式(II)で表されるオルガノシラン(II)との加水分解縮合物の存在下に、下記一般式(I)で表されるオルガノシラン(I)を、加水分解縮合物に用いられるオルガノシラン(I)〜(II)の合計モル数1モルに対し、0.05〜0.5モル、さらに加えて加水分解し、縮合することを特徴とする層間絶縁膜形成用組成物の製造方法。 R1Si(OR2)3・・・・・(I) (式中、R1 はメチル基またはエチル基からなる1価の有機基を示し、R2 は同一または異なり、アルキル基、アリール基またはアシル基を示す。) Si(OR2)4・・・・・(II) (式中、R2は同一または異なり、アルキル基、アリール基またはアシル基を示す。)

IPC (5件)：

C09D 183/04 ( 200 6.01) , H01L 21/312 ( 200 6.01) , C08G 77/44 ( 200 6.01) , C08L 83/04 ( 200 6.01) , H01B 3/00 ( 200 6.01)

FI (5件)：

C09D 183/04 , H01L 21/312 C , C08G 77/44 , C08L 83/04 , H01B 3/00 F

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開平3-053529
上塗り塗料組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-308144 出願人：関西ペイント株式会社
特開平3-054279

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