特許
J-GLOBAL ID：201103013269412370
メッキステージと剥離ステージとを備えた位置決め装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
篠原 泰司
, 藤中 雅之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-082094
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277673
特許番号：特許第3546747号
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】搬送手段によりメッキステージおよび剥離ステージの上を搬送させられる帯状の薄板部材に対する位置決め装置であって、部分メッキを行うための部分メッキ用板状部と、部分メッキ用板状部に設けられたホルダーと、部分メッキ用板状部に設けられたホルダーを介して部分メッキ用板状部に対し垂直方向に移動可能に保持されていて、部分メッキ用板状部に載せられた帯状の薄板部材に設けられた穴にさし通すことによって帯状の薄板部材を所定のメッキ位置に固定することが可能なピンとを有するメッキステージと、部分剥離を行うための部分剥離用板状部と、部分剥離用板状部に設けられたホルダーと、部分剥離用板状部に設けられたホルダーを介して部分剥離用板状部に対し垂直方向に移動可能に保持されていて、部分剥離用板状部に載せられた帯状の薄板部材に設けられた穴にさし通すことによって帯状の薄板部材を所定の剥離位置に固定することが可能なピンと、部分剥離用板状部に載せられた帯状の薄板部材の長手方向に沿って移動可能な送りネジと、部分剥離用板状部を送りネジに連動して帯状の薄板部材の長手方向に沿って移動させるスライド部とを有する剥離ステージとで構成したことを特徴とするメッキステージと剥離ステージとを備えた位置決め装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 23/50 D
, C25D 5/02 C
