特許
J-GLOBAL ID：201103013351077261
細線電界効果トランジスタ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-010594
公開番号（公開出願番号）：特開平2-189978
出願日： 1989年01月18日
公開日（公表日）： 1990年07月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】動作層がメサにより細線状の2つ以上の部分に分割され、該細線間の動作層で共通するオーミック電極とゲート電極が形成されてなることを特徴とする細線電界効果トランジスタにおいて、前記動作層の各メサの側壁部分に絶縁膜が形成されてなることを特徴とする細線電界効果トランジスタ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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