特許

J-GLOBAL ID：201103013381405786

被検査物の検査方法、検査用プログラム及び検査装置

発明者： 園田 真志
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-020897
公開番号（公開出願番号）：特開2011-158367
出願日： 2010年02月02日
公開日（公表日）： 2011年08月18日
要約：

【課題】本発明は、被検査物の欠陥を確度よく能率的に検査可能な被検査物の検査方法を提供することを目的としている。【解決手段】本発明の一つの態様は、被検査物を探傷し得られた被検査物画像に基づき被検査物画像データを生成する被検査物画像生成ステップと、同一寸法を有する複数の画像を被検査物画像から抽出するように複数の抽出画像データを含む抽出画像データ群を生成する画像抽出ステップと、抽出画像データ群から一の抽出画像データを選択し、検査画像データとする検査画像選択ステップと、検査画像データとして選択された抽出画像データ以外の抽出画像データのうち二以上の抽出画像データを抽出画像データ群から選択し、その二以上の抽出画像データを平均化処理して基準画像データを生成する基準画像生成ステップと、検査画像データと基準画像データとを比較し欠陥を検出する欠陥検出ステップとを含む被検査物の検査方法である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被検査物の欠陥を検査する方法であって、 被検査物を探傷し得られた被検査物画像に基づき被検査物画像データを生成する被検査物画像生成ステップと、 同一寸法を有する複数の画像を前記被検査物画像から抽出するように被検査物画像データを処理し、複数の抽出画像データを含む抽出画像データ群を生成する画像抽出ステップと、 前記抽出画像データ群から一の抽出画像データを選択し、検査画像データとする検査画像選択ステップと、 前記検査画像データとして選択された抽出画像データ以外の抽出画像データのうち二以上の抽出画像データを前記抽出画像データ群から選択し、その二以上の抽出画像データを平均化処理して基準画像データを生成する基準画像生成ステップと、 前記検査画像データと前記基準画像データとを比較し欠陥を検出する欠陥検出ステップとを含み、 前記検査画像選択ステップ、基準画像生成ステップ及び欠陥検出ステップを順次繰り返し被検査物画像から欠陥を検出する被検査物の検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/89 ,  G06T 1/00

FI (2件)：

G01N21/89 S ,  G06T1/00 305A

Fターム (27件)：

2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EC03 ,  2G051ED04 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE03 ,  5B057CE06 ,  5B057CH09 ,  5B057DA03 ,  5B057DA08 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC33