表面被覆超硬合金の製造方法、及び表面被覆鋼材の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田中増顕
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-337307
公開番号（公開出願番号）：特開平3-197662
特許番号：特許第2545144号
出願日： 1989年12月26日
公開日（公表日）： 1991年08月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】金属チタンを蒸発源とし、窒素ガス、アンモニアガスまたはこれらの混合ガスを反応ガスとして、真空アーク放電型のイオンプレーティング法により基盤の超硬合金上に窒化物被膜を形成する方法において、蒸発源に供給する電流を80A以上とし、上記超硬合金に-200V〜-800Vのバイアス電圧を印加し、製膜温度を450°C以上に維持し、上記反応ガスの圧力を10×10-3Torr以上にして行うことを特徴とする表面被覆超硬合金の製造方法。

IPC (2件)：