特許

J-GLOBAL ID：201103013533030457

熱硬化性膜形成組成物

発明者： 竹井 敏
出願人/特許権者： 日産化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-281657
公開番号（公開出願番号）：特開2011-122081
出願日： 2009年12月11日
公開日（公表日）： 2011年06月23日
要約：

【課題】 液晶ディスプレイ、ハードディスク用記録材料、固体撮像素子、太陽電池パネル、発光ダイオード、有機発光デバイス、ルミネセントフィルム、蛍光フィルム、MEMS、アクチュエーター、反射防止材料、レジスト、レジスト下層膜、レジスト上層膜、又はナノインプリント用テンプレート(モールド)に使用される膜形成組成物を提供する。【解決手段】 モノマー(a)を単位構造として含むポリマー鎖(A)と、モノマー(a)とは異なるモノマー(b)を単位構造として含む隣接する少なくとも一つのポリマー鎖(B)とを含むブロックコポリマー、架橋剤、及び有機溶剤を含む膜形成組成物。ブロックコポリマー中に存在するブロックの種類が2又は3である。ブロックコポリマー中に存在するブロック数が2又は3である。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

モノマー(a)を単位構造として含むポリマー鎖(A)と、モノマー(a)とは異なるモノマー(b)を単位構造として含み隣接する少なくとも一つのポリマー鎖(B)とを含むブロックコポリマー、架橋剤、及び有機溶剤を含む膜形成組成物。

IPC (4件)：

C08L 53/00 ,  C08K 5/09 ,  G03F 7/11 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

C08L53/00 ,  C08K5/09 ,  G03F7/11 503 ,  H01L21/30 502R

Fターム (26件)：

2H125AE04P ,  2H125AM13P ,  2H125AM15P ,  2H125AM23P ,  2H125AN05P ,  2H125AN38P ,  2H125AN42P ,  2H125AN85P ,  2H125BA01P ,  2H125BA21P ,  2H125BA32P ,  2H125CA12 ,  2H125CA22 ,  4J002BG13X ,  4J002BP01W ,  4J002BP02W ,  4J002BP03W ,  4J002CC18X ,  4J002CC19X ,  4J002CD00X ,  4J002ET016 ,  4J002EU136 ,  4J002GP00 ,  4J002GP03 ,  4J002GQ02 ,  4J002HA03