特許
J-GLOBAL ID：201103013541184315
多段ルーツ型真空ポンプ式吸引装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
江原 省吾 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-156794
公開番号（公開出願番号）：特開2000-345985
特許番号：特許第3176595号
出願日： 1999年06月03日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 空気と冷却水が真空吸引される吸入口とこの吸入口に吸入された空気と冷却水が吐出される吐出口を有するケーシングに一対のロータを収納した複数のポンプ部が直列多段に連通連結され、前段ポンプ部の吐出口を隣接する後段ポンプ部の吸入口と連通させて、各ポンプ部のロータを同時回転させて各ポンプ部を真空ポンプ動作させるようにした多段ルーツ型真空ポンプ式吸引装置において、前段ポンプ部及び後段ポンプ部の各吸入口に外部から冷却水を注入する前段注水口及び後段注水口を設け、前段注水口に単位時間当たりの注水量を規制する前段オリフィスを設置し、後段注水口に単位時間当たりの注水量を前段オリフィスによる注水量より多い量で規制する後段オリフィスを設置すると共に、後段注水口の冷却水通路の一部に各ポンプ部の真空ポンプ動作の初期段階で前段ポンプ部から後段ポンプ部に吐出されて一時的に加圧状態となる加圧空気の逆流で閉じて後段注水口からの注水を一時的に止める逆止弁を設置したことを特徴とする多段ルーツ型真空ポンプ式吸引装置。
IPC (4件)：
F04C 25/02
, F04C 18/18
, F04C 23/00
, F04C 29/04
F04C 25/02 K
, F04C 18/18 A
, F04C 23/00 E
, F04C 29/04 P
