特許
J-GLOBAL ID:201103013594587055

圧力センサ及びその調整方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 高橋 英生 ,  浅見 保男 ,  武山 吉孝 ,  鈴木 隆盛 ,  祖父江 栄一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-178990
公開番号(公開出願番号):特開2011-033443
出願日: 2009年07月31日
公開日(公表日): 2011年02月17日
要約:
【課題】簡易な構成で精度の調整を行うことができる圧力センサを提供する。【解決手段】ダイヤフラム20の周縁部は継手本体10と上側本体30とにより挟持されている。ダイヤフラム20には、永久磁石26が設けられた受圧板24が取り付けられており、上側本体30に取り付けられたリニアホールIC34により、前記永久磁石26すなわちダイヤフラム20の変位を検出する。リニアホールIC34の外側には、角孔が設けられた鉄板を有するプレート40が装着されており、鉄板の位置が異なるプレート又は角孔の縦寸法が異なるプレートを選択すること、あるいは、プレートを取り外すことにより、圧力センサの精度が要求精度となるように調整する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
被測定流体の流入口を有する継手本体、 内部に受圧板が貫入されるガイド室が設けられた上側本体、 前記継手本体と上側本体により周縁を挟持されたダイヤフラム、 前記ダイヤフラムの上面に前記上側本体のガイド室内に摺動自在に設けられた受圧板、 前記受圧板の摺動面に固定された永久磁石、及び、 前記上側本体のガイド室の側面に前記永久磁石と対向するように設置された、ホール素子及び該ホール素子の出力を増幅する回路を有するリニアホールICを有し、 前記リニアホールICの前記永久磁石側とは反対側に、その中心位置が前記リニアホールICの中心位置と一致するように設けられた空隙を有する磁性体板が装着されていることを特徴とする圧力センサ。
IPC (1件):
G01L 9/14
FI (1件):
G01L9/14
Fターム (8件):
2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD11 ,  2F055EE27 ,  2F055FF43 ,  2F055GG11 ,  2F055HH01
引用特許:
審査官引用 (6件)
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