特許

J-GLOBAL ID：201103013639770166

圧電共振素子の製造方法及び圧電共振素子

発明者： 盛永 俊吾
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 宮▲崎▼主税
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-353275
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168673
特許番号：特許第3882434号
出願日： 1999年12月13日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックスからなり、該圧電体におけるTi/Zrのモル比が0.53未満である圧電体において、飽和分極となる電圧よりも低い電圧を印加して分極度を飽和分極の70%未満とする工程と、 前記圧電体の外表面に複数の共振電極を形成する工程とを備えることを特徴とする、圧電共振素子の製造方法。

IPC (5件)：

H03H 9/17 ( 200 6.01) ,  H01L 41/09 ( 200 6.01) ,  H01L 41/187 ( 200 6.01) ,  H01L 41/22 ( 200 6.01) ,  H03H 3/02 ( 200 6.01)

FI (5件)：

H03H 9/17 A ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 B ,  H03H 3/02 B

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平4-273186
  
• 特開平2-312310
  
• 特開昭51-095788
  

審査官引用 (3件)

• 特開平4-273186
  
• 特開平2-312310
  
• 特開昭51-095788