特許

J-GLOBAL ID：201103013672734426

半導体素子、半導体装置及びそれらの作製方法

発明者： 須沢 英臣 ,  倉田 求 ,  三上 真弓
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-268976
公開番号（公開出願番号）：特開2011-139055
出願日： 2010年12月02日
公開日（公表日）： 2011年07月14日
要約：

【課題】チャネル長Lが短く微細化が可能な、酸化物半導体を用いたトップゲート型の半導体素子を提供することを課題とする。また、該半導体素子の作製方法を提供することを課題とする。【解決手段】絶縁表面上に酸化物半導体層と、酸化物半導体層上にソース電極層及びドレイン電極層と、酸化物半導体層、前記ソース電極層、及び前記ドレイン電極層上にゲート絶縁層と、ゲート絶縁層上にゲート電極層とを有し、ソース電極層及びドレイン電極層は側壁を有し、側壁は前記酸化物半導体層の上面と接する半導体素子である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

絶縁表面上に酸化物半導体層と、 前記酸化物半導体層上にソース電極層及びドレイン電極層と、 前記酸化物半導体層、前記ソース電極層、及び前記ドレイン電極層上にゲート絶縁層と、 前記ゲート絶縁層上にゲート電極層とを有し、 前記ソース電極層及び前記ドレイン電極層は前記ゲート絶縁層との間に側壁を有し、 前記側壁は前記酸化物半導体層の上面と接する半導体素子。

IPC (5件)：

H01L 29/786 ,  H01L 29/417 ,  H01L 21/336 ,  H01L 21/28 ,  H01L 29/41

FI (9件)：

H01L29/78 616T ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 616U ,  H01L29/50 M ,  H01L29/78 616K ,  H01L29/78 617V ,  H01L21/28 301B ,  H01L29/44 S ,  H01L29/44 L

Fターム (102件)：

4M104AA03 ,  4M104AA09 ,  4M104BB02 ,  4M104BB03 ,  4M104BB04 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104CC01 ,  4M104DD34 ,  4M104DD37 ,  4M104DD62 ,  4M104DD63 ,  4M104DD64 ,  4M104DD66 ,  4M104DD71 ,  4M104EE09 ,  4M104EE14 ,  4M104EE16 ,  4M104EE17 ,  4M104FF06 ,  4M104FF09 ,  4M104FF17 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH14 ,  4M104HH20 ,  5F110AA01 ,  5F110AA09 ,  5F110AA26 ,  5F110BB01 ,  5F110BB03 ,  5F110BB06 ,  5F110BB07 ,  5F110BB08 ,  5F110BB20 ,  5F110CC01 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD04 ,  5F110DD05 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE07 ,  5F110EE14 ,  5F110EE15 ,  5F110EE28 ,  5F110EE30 ,  5F110EE44 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF05 ,  5F110FF09 ,  5F110FF28 ,  5F110GG01 ,  5F110GG06 ,  5F110GG07 ,  5F110GG25 ,  5F110GG28 ,  5F110GG29 ,  5F110GG33 ,  5F110GG34 ,  5F110GG35 ,  5F110GG43 ,  5F110GG57 ,  5F110GG58 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK21 ,  5F110HK22 ,  5F110HK32 ,  5F110HK33 ,  5F110HM03 ,  5F110HM14 ,  5F110HM20 ,  5F110NN03 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN25 ,  5F110NN27 ,  5F110NN33 ,  5F110NN34 ,  5F110NN36 ,  5F110QQ06 ,  5F110QQ19