感光性ポリイミド前駆体用現像液及びこれを用いた現像処理方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-328065
公開番号（公開出願番号）：特開平3-188449
特許番号：特許第2936607号
出願日： 1989年12月18日
公開日（公表日）： 1991年08月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】(a)N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、N-メチル-2-ピロリドン、1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノン、N-アセチル-ε-カプロラクタム、γ-ブチロラクトン、ヘキサメチルホスホルアミド及びテトラメチレンスルホンから選ばれる一種又は二種以上の溶剤、(b)メチルアルコール及び(c)フッ素系界面活性剤を含有してなる感光性ポリイミド前駆体用現像液。

IPC (2件)：